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电子工业中，生产单晶硅半导体材料、二极管、三极管、集成电路、光、硬盘、显象管时，都需要达到电子级标准的工艺用水，在我国，电子级水共分五个级别，部分指标如下：
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指标 级别 |
EW-Ⅰ |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
EW-Ⅴ |
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电阻率 MΩ.cm（ |
18 90%时间*小17 |
15 90%时间*小12 |
10 90%时间*小8 |
≥2 |
≥0.5 |
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大于1μm微粒数，*大值，个/ml |
1 |
5 |
10 |
100 |
500 |
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大于0.5μm微粒数，*大值，个/m |
100 |
300 |
500 |
1000 |
2000 |
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细菌个数，*大值，个/ ml |
1 |
5 |
10 |
50 |
100 |
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总有机碳含量，*大值 |
50 |
100 |
200 |
1000 |
5000 |
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二氧化硅总含量，*大值 |
2 |
20 |
50 |
100 |
1000 |
电子级水基本制水流程如下：
